SMARPROBE SP4 & SP8

由于采用了全閉環控制運動系統，SMARPROBE 能夠以無與倫比的重復性和穩定性進行定位，即使在納米尺度上也是如此。這消除了探測過程中的漂移、手動校正和猜測，使復雜的測量變得更快、更可靠和高度自動化。這就是閉環的含義，也是與眾不同之處。

SMARPROBE SP4 提供 4 個機械手，SP6 擴展到 6 個，SP8 支持多達 8 個機械手。每個系統都包括一個樣品臺。所有機械手都具有三個自由度，并配備了納米分辨率的光學編碼器，用于高精度電氣測量。專用控制軟件中執行的智能定位程序，以及最多可加載四個 SEM 樣品樁的能力，最大限度地提高了任何納米探針任務的操作簡便性和產量。
基于 SmarAct 在壓電納米定位領域的技術，堅固的機械設計保證了最高的穩定性和直觀的操作性。所有 SMARPROBE 系統都與各種 FIB、SEM 和光學顯微鏡兼容，是改造現有工作流程和集成到新儀器的出色解決方案。
SMARPROBE 探測系統支持從雙觸點 EBIC/EBAC 到先進的 4 點和 6 點探測測量等各種電特性分析技術，是半導體失效分析實驗室不可或缺的工具。

主要優點:

• SEM 中的半盲操作。得益于主動位置保持、低熱漂移和 Point&Click 功能，在進行探針定位時可將電子束暴露量降到最低，從而保護敏感結構和探針尖端。
• 快速、靈活的安裝。SMARPROBE 平臺與大多數 SEM、FIB 和光學系統兼容，易于安裝和集成，是新裝置和改造升級的一種選擇。
• 可更換驅動單元，便于維護。SmarAct 久經考驗的 EDU 概念可確保快速、無憂的維護，無需重新校準整個測頭系統，從而最大限度地減少停機時間，確保系統的最大可用性。

¹ 無振動行程范圍。在低振動模式下可執行更長的移動范圍，確保導航安全。

² 主動溫度控制使熱漂移不受周圍環境的影響。