直線位移臺(tái)
SmarAct 提供多款線性定位平臺(tái)，涵蓋從超緊湊型到長(zhǎng)行程的多種系列。所有組件均實(shí)現(xiàn)完全兼容，用戶可靈活組合成復(fù)雜多軸系統(tǒng)。產(chǎn)品采用交叉滾子軸承、壓電驅(qū)動(dòng)或電磁直驅(qū)等技術(shù)，滿足高剛性、納米級(jí)定位及高運(yùn)行時(shí)間等不同需求。
精密控制和光學(xué)機(jī)械
納米探針 SMARPROBE
SMARPROBE 納米探針系統(tǒng)采用全閉環(huán)控制運(yùn)動(dòng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)無(wú)與倫比的重復(fù)性和穩(wěn)定性，消除漂移和手動(dòng)校正，讓復(fù)雜測(cè)量更快、更可靠。支持4至8個(gè)機(jī)械手，配備納米分辨率光學(xué)編碼器，兼容多種FIB/SEM和光學(xué)顯微鏡，是半導(dǎo)體失效分析實(shí)驗(yàn)室的出色工具。
旋轉(zhuǎn)臺(tái)
SmarAct 旋轉(zhuǎn)臺(tái)系列基于不同的驅(qū)動(dòng)技術(shù)，提供高精度且連續(xù)無(wú)限制旋轉(zhuǎn)的定位解決方案。這些旋轉(zhuǎn)臺(tái)可輕松組合成復(fù)雜系統(tǒng)，如萬(wàn)向節(jié)或多軸定位器，并支持高壓、超高真空及完全無(wú)磁版本，適用于廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景。其堅(jiān)固的軸承和多樣的開(kāi)口尺寸設(shè)計(jì)，確保了卓越的耐用性和靈活性。
皮米干涉儀 PICOSCALE
SmarAct 推出的 PICOSCALE 干涉儀，以皮米級(jí)分辨率和無(wú)與倫比的精度，重新定義了位移測(cè)量技術(shù)。該邁克爾遜干涉儀支持非接觸式測(cè)量，并提供適應(yīng)真空、低溫等極端環(huán)境的緊湊傳感器頭，同時(shí)具備強(qiáng)大的固件模塊與配件，可滿足從實(shí)驗(yàn)室到 OEM 集成的多樣化需求。
高負(fù)載臺(tái)
SmarAct的CHS和SHL系列直線位移臺(tái)專為高負(fù)載應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用驅(qū)動(dòng)楔塊實(shí)現(xiàn)高分辨率運(yùn)動(dòng)，獨(dú)立導(dǎo)軌確保直線位移并支持位置傳感器集成，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。平臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，可組合成多軸系統(tǒng)，在空間受限環(huán)境中也能高效處理重載荷。
皮秒振動(dòng)計(jì) PICOSCALE
PICOSCALE 皮秒振動(dòng)計(jì)專為微型機(jī)械結(jié)構(gòu)的精密模態(tài)分析而設(shè)計(jì)，集成高分辨率共聚焦顯微鏡與激光干涉儀，實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量。它支持高達(dá) 2.5 MHz 帶寬、亞皮米級(jí)分辨率，可同時(shí)獲取平面外振動(dòng)與平面內(nèi)頻閃圖像，是 MEMS、傳感器及微型致動(dòng)器研發(fā)與測(cè)試的出色工具。
弧度臺(tái)
SMARSLIDE系列CGO型弧度臺(tái)專為小角度（±5°）高精度旋轉(zhuǎn)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，提供兩種半徑規(guī)格，可堆疊組合成具有公共旋轉(zhuǎn)中心的歐拉弧度臺(tái)，兼具緊湊與高剛性。該系列支持可更換驅(qū)動(dòng)單元，并兼容模塊化系統(tǒng)，可輕松與直線臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)集成，構(gòu)建多維串聯(lián)系統(tǒng)，滿足復(fù)雜定位需求。
光電編碼器 METIRIO
METIRIO®是同類產(chǎn)品中最小的光電編碼器，專為閉環(huán)納米定位設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)極致微型化、高分辨率與高速性能。讀頭采用模塊化OEM設(shè)計(jì)，可集成于定制外殼，簡(jiǎn)化集成流程。該編碼器支持低功耗與超高真空環(huán)境，配備圖形化軟件，參數(shù)可存儲(chǔ)于內(nèi)部存儲(chǔ)器，是精密運(yùn)動(dòng)控制與納米定位的出色選擇。
光機(jī)電一體化
SmarAct 的光機(jī)電一體化定位系統(tǒng)以微型化、高精度和模塊化設(shè)計(jì)，為光學(xué)領(lǐng)域復(fù)雜實(shí)驗(yàn)與裝置提供出色解決方案。結(jié)合定位傳感器，可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置控制，適用于自動(dòng)化或遠(yuǎn)程控制的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。所有組件均支持高度定制，并可選配高真空、超高真空或黑色陽(yáng)極氧化版本，滿足嚴(yán)苛的真空與光學(xué)反射要求。
定位系統(tǒng)
SmarAct 提供從平面到復(fù)雜 3D 任務(wù)的高精度定位系統(tǒng)，涵蓋六足機(jī)器人、模塊化系統(tǒng)、SEM 平臺(tái)及電動(dòng)光機(jī)等多種解決方案。其模塊化設(shè)計(jì)允許靈活組合與重新配置，確保精準(zhǔn)應(yīng)對(duì)您的特定定位挑戰(zhàn)，實(shí)現(xiàn)完全滿意。無(wú)論是微觀樣品操作還是光學(xué)實(shí)驗(yàn)，SmarAct 均能提供納米級(jí)精度的可靠定位。
