SmarAct計量產品

SMARPROBE 納米探針系統采用全閉環控制運動技術，實現無與倫比的重復性和穩定性，消除漂移和手動校正，讓復雜測量更快、更可靠。支持4至8個機械手，配備納米分辨率光學編碼器，兼容多種FIB/SEM和光學顯微鏡，是半導體失效分析實驗室的出色工具。

SmarAct 推出的 PICOSCALE 干涉儀，以皮米級分辨率和無與倫比的精度，重新定義了位移測量技術。該邁克爾遜干涉儀支持非接觸式測量，并提供適應真空、低溫等極端環境的緊湊傳感器頭，同時具備強大的固件模塊與配件，可滿足從實驗室到 OEM 集成的多樣化需求。

PICOSCALE 皮秒振動計專為微型機械結構的精密模態分析而設計，集成高分辨率共聚焦顯微鏡與激光干涉儀，實現非接觸式測量。它支持高達 2.5 MHz 帶寬、亞皮米級分辨率，可同時獲取平面外振動與平面內頻閃圖像，是 MEMS、傳感器及微型致動器研發與測試的出色工具。

METIRIO®是同類產品中最小的光電編碼器，專為閉環納米定位設計，實現極致微型化、高分辨率與高速性能。讀頭采用模塊化OEM設計，可集成于定制外殼，簡化集成流程。該編碼器支持低功耗與超高真空環境，配備圖形化軟件，參數可存儲于內部存儲器，是精密運動控制與納米定位的出色選擇。