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皮秒振動計 PICOSCALE
PICOSCALE
PICOSCALE 皮秒振動計專為微型機械結構的精密模態分析而設計，集成高分辨率共聚焦顯微鏡與激光干涉儀，實現非接觸式測量。它支持高達 2.5 MHz 帶寬、亞皮米級分辨率，可同時獲取平面外振動與平面內頻閃圖像，是 MEMS、傳感器及微型致動器研發與測試的出色工具。
PICOSCALE 振動計：高級模態分析的高分辨率解決方案
PICOSCALE 測振儀是測量尺寸從幾微米到幾厘米的微型機械結構振動的全套解決方案。其應用包括微機電系統、傳感器、微型揚聲器以及軸承和致動器的測試。由于該設備配備了集成顯微鏡，可測量多達 100 萬個像素，因此非常適合以高空間和時間分辨率觀察振動模式。
- 用光進行非接觸式測量
- 掃描激光干涉儀，用于測量平面外運動（激光束方向）
- 測量帶寬高達 2.5 MHz（10 MHz 采樣率），分辨率低于 1 pm
- 集成紅外共聚焦顯微鏡，光學分辨率高達 2 μm
- 封裝微機電系統的模態分析
- 平面內運動的頻閃成像（垂直于激光束方向）
- 全套儀器，帶振動臺
